（MEMS）即微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems），是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的21世纪前沿技术。随着技术的发展和产业的成熟，MEMS已经作为一种基本加工工艺和制造理念，渗入到高科技领域及产品的方方面面...
（MEMS）即微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems），是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的21世纪前沿技术。随着技术的发展和产业的成熟，MEMS已经作为一种基本加工工艺和制造理念，渗入到高科技领域及产品的方方面面...
简介：荣耀光，华中科技大学副教授，博士生导师，2009年在武汉大学材料物理专业获得学士学位；2014年在华中科技大学光学工程专业获博士学位；2014年10月赴美国休斯敦大学进行博士后研究；2016年加入华中科技大学武汉光电国家实验室，主要从事介观太阳能电池相关研究。在开展基础研究的同时，积极致力于实验室测试器件的工艺放大和重复性研究，以推动介观太阳能电池的实际应用和...
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