个人简介：

王琛英，研究员，博士生导师西安交通大学本硕博、博士后。目前任西安交通大学仪器科学与技术学院智能传感与系统研究所副所长。

主持国家重点研发计划项目、国家自然科学基金面上、青年基金等多项国家级项目。研制国家一级标准物质4种，国家二级标准物质10种；获2021年中国机械工程学会科技进步一等奖；2020年中国计量测试学会科学技术进步奖一等奖；2016年中国计量测试学会科学技术进步奖二等奖；发表文章50余篇，专利10余项。

研究领域：

柔性器件及智能可穿戴传感技术应用研究

微纳米几何量国家标准物质的关键技术研究

微纳米几何量国家标准物质的国际溯源与比对研究

教育经历：

1995. 09 – 1999. 07  西安交通大学  机械工程及自动化  学士

2002. 09 – 2005. 04  西安交通大学  机械工程  硕士

2009. 09 – 2014. 12  西安交通大学  仪器科学与技术  博士

重要科技奖项：

2021年，中国机械工业科学技术奖科技进步一等奖，排名1/15；

2020年，中国计量测试学会科学技术奖科技进步一等奖，排名6/10；

2016年，中国计量测试学会科学技术奖科技进步二等奖，排名3/10；

2021年，陕西省科技工作者创新创业大赛一等奖，排名1/10。

主要任职

2017. 09 – 至今  全国互换性与测量技术基础研究会  常务理事兼副秘书长

2018. 05 – 至今  中国微米纳米技术学会微纳执行器与微系统分会  理事

2019. 01 – 至今  陕西省机械工程学会  副秘书长

2023. 10 – 至今  西安交通大学仪器科学与技术学院智能传感与系统研究所  副所长

摘要：微纳米几何计量技术在芯片、工业母机、先进制造和生物医药等典型产业应用广泛，研究微纳米几何量的载体—微纳米几何量标准物质对实现芯片尺寸可控制备和提高芯片性能具有重要意义。因此，面向国家计量机构和上述产业对高精度微纳米几何量标准物质重大需求，课题组研制跨尺度微纳米几何量标准物质系列并实现了校准结构集成化及在线检测，完善我国长度量值传递体系，为提升我国相关微纳器件的总体质量水平提供了计量保障。

个人简介：吴金杰，博士，研究员，中国计量科学研究院几何量所所长，中国计量测试学会几何量专业委员会主任委员，全国测量不确定度计量技术委员会主任委员，中国辐射防护学会常务理事，市场监管职业教育教学指导委员会委员，曾任亚太计量组织（APMP）电离辐射专业委员会(TCRI)主席。主要从事X射线计量，负责建立了X射线国家计量基准、标准装置4项，主导或参与完成国际比对6项，发表学术论文80余篇。曾获亚太计量组织APMP-Iizuka青年科学家奖，全国质量监督检验检疫工作先进个人，曾获中国计量测试学会科技进步奖、北京市科技进步奖、四川省科技进步奖等省部级奖励7项。

摘要：报告主要介绍长度计量单位米的定义从实物到基本物理常数的演进与发展，集成电路等原子级制造对计量提出的溯源需求，基于X射线干仪法开展原子尺度米定义的复现原理和技术，最后介绍基于硅晶格常数的计量新体系及在纳米及亚纳米计量中的应用。

       个人简介：葛广路研究员，2001年美国哥伦比亚大学化学博士，师从诺奖得主Louis Brus教授，2001-2005年在加州大学洛杉矶分校和加州理工学院从事博士后研究，2005年加入国家纳米科学中心，现任全国纳米技术标准化技术委员会副主任委员，全国标准样品技术委员会副主任委员，国际标准化组织纳米技术委员会材料工作组（ISO/TC229/WG4）召集人。

长期从事纳米材料的标准测试方法和标准样品等研究，主持十三五和十四五国家重点研发计划项目，围绕量子点、碳纳米管、石墨烯等材料体系，发展吸收光谱、拉曼、XPS、ICP-MS等测试方法，带领团队主持发布10项ISO/IEC国际标准和19项国家标准，在Adv. Mater.等期刊发表论文80多篇，译著《纳米技术标准》2013年由科学出版社出版，2018年获IEC 1906奖

       摘要：纳米科技质量基础设施中，标准承上启下，为检验检测和合格评定提供依据，促进创新成果的技术验证和产业应用。

纳米科技与其它高新技术一样，面临研发与标准同步带来的标准化时机和对象不确定性、利益相关方的协商一致、缺乏实验室比对支持等挑战。2005年以来，ISO和IEC分别成立纳米技术标委会，布局名词术语、表征测量、健康安全、材料规格等方向，各国积极参与，开展了卓有成效的工作。其中我国主导40余项国际标准，制定了140余项国家标准，带动了大批企业参与，助力纳米制造和纳米材料产业的质量提升。

本报告介绍国内外纳米科技标准化动态，分析标准支撑引领作用，并展望其发展趋势。

个人简介：博士，研究员，中国计量科学研究院前沿计量科学中心纳米计量研究室主任，英国国家物理实验室、德国联邦物理技术研究院访问学者，长期从事纳米计量技术研究工作，牵头负责国家纳米几何量值传递体系的建立，与纳米计量服务产业的应用研究。现任ISO/TC201 和 TC213 委员，全国几何量长度计量技术委员会委员与纳米几何量计量工作组组长，全国产品几何技术规范标准化技术委员会SAC/TC240委员，中国计量测试学会几何量专业委员会委员。近年来主持或参与国家重点研发计划项目、科技部重大仪器开发项目等国家和省部级科技计划项目10余项。获省部级与学会科研奖励10项。

摘要：纳米几何特征结构标准物质是纳米量值传递的载体，是国家纳米量值传递体系的重要组成部分。中国计量科学研究院纳米计量团队开展了针对性的计量与溯源技术研究，成功研制了用于量值溯源的纳米计量国家标准装置与用于量值传递的多特征结构的国家标准物质，基于标准物质的纳米计量能力正在逐步的形成，并建立完善的计量溯源体系。随着研究的深入与产业的对接，相关计量能力已在国内广泛应用,计量溯源体系随之延伸到了产业最前线，为我国微纳相关产业的发展提供坚实的保障。

个人简介：赵凤霞，郑州大学机械与动力工程学院教授。“全国高校互换性与测量技术研究会”常务理事，“全国产品几何技术规范标准化技术委员会（SAC/TC240）”委员，中国微米纳米技术学会微纳米制造及装备分会理事。主要研究领域为基于GPS的数字化计量技术及应用、机器视觉技术及应用、MEMS与微纳米测试技术等。主持和参与制（修）订了22项GPS领域国家标准。

摘要：在国际标准中，GPS标准体系是影响最广、最重要的基础标准体系之一，与质量管理(ISO9000)、产品模型数据交换(STEP)等重要标准体系的有着密切的联系，是制造业信息化、质量管理、工业自动化系统与集成等工作的基础，其重要作用日益为国际社会所认同，其发展和应用水平不但影响一个国家的经济发展，而且对一个国家的科学技术和制造业水平有决定作用。GPS为产品几何量的数字化设计和检测提供了数学工具，研究这些数学工具在微纳结构几何特征的评价与表达中的应用，探索微纳结构几何特征的分析、评定及其标准化。

个人简介：

韩香广：西安交通大学助理教授，2021年博士毕业于西安交通大学，之后留校任教，师从领军学者赵立波教授。发表学术论文15篇，申请国家发明专利20余项。其中以第一作者或学生第一作者发表SCI论文3篇，在领域内顶级期刊Microsystems and Nanoengineering（IF = 7.12），Sensor and Actuator A（IF = 3.4）等发表学术论文。作为课题负责人参与了多项国家级压力传感器开发项目，包括国家重点研发计划、自然基金委青年基金等，主持了航天科技集团、航空工业集团、兵器集团等多项军工领域特种压力传感器开发项目。

研究方向：深耕压力传感器技术研究领域，主持开发了高精度谐振式压力传感器、高灵敏度微压传感器、高精度温压集成式传感器等特种压力传感器，取得了多项研究成果，并作为骨干成员参与了多项国家级压力传感器开发项目。在MEMS压力传感器研究积累了扎实的基础和丰富的知识积累。

主要学术成果：研制了高性能微差压MEMS压力传感器；实现了MEMS温压集成传感器高精度温度补偿与微型化封装；提出无引线高温压力传感器应力匹配封装方法，极大提高了耐高温性能和测量精度；实现集成式薄膜传感器高精度、高可靠矢量力测量。

学习经历：

2017.09~2021.06 西安交通大学 仪器科学与技术 博士；

2011.09~2013.06 西安交通大学 机械工程 硕士；

2007.09~2011.06 中国石油大学（华东）机制 学士；

重要奖项：

获航空工业集团科技进步二等奖。

摘要：压力是流体内部测量的基本参数之一，其对流体控制和设备状态监测至关重要。因此，MEMS压力传感器在汽车、医疗和航空航天等领域有着广泛的应用。通过精确的压力测量，可以准确监测设备状况，预测潜在的故障。MEMS压力传感器发展趋势包括：更高的灵敏度、更高的精度、多参数集成、更小的芯片尺寸、更小的封装尺寸以及在恶劣环境中具有更好的鲁棒性等。本课程讲解多种应用中的高性能MEMS压力传感器，包括微差压压力传感器（MDPS）、谐振式压力传感器（RPS）、集成式压力传感器、微型化压力传感器和无引线封装压力传感器，详细介绍它们的工作原理、研究进展、技术难点和发展前景。

课程提纲：

1. 高性能MEMS压力传感器背景知识；

2. 微差压压力传感器；

3. 谐振式压力传感器；

4. 集成式压力传感器；

5. 微型化压力传感器；

6. 无引线封装压力传感器；

7. 高性能MEMS压力传感器总结与展望。

个人简介：韩森，德国斯图加特大学光学工程博士、苏州慧利仪器有限责任公司董事长、上海理工大学教授，国际光学工程学会（SPIE）Fellow、SPIE战略筹划委员会委员，中国光学工程学会会士、常务理事，全国几何量工程参量委员会委员、全国光电测量标准化技术委员会委员、全国光学和光子学标准化技术委员会、全国专业计量技术委员会委员；国家级特聘专家、江苏高层次创新创业人才、姑苏创新创业领军人才、苏州工业园区科技领军人才、苏州工业园区“金鸡湖双百人才”；科技部国家重大科学仪器专项/重点研发计划项目评审专家、国家质量基础的共性技术（NQI）研究和应用评审专家、教育部长江学者特聘教授评审专家、江苏省双创人才评审专家、姑苏领军人才评审专家、苏州工业园区领军人才评审专家。两次获美国被称之为发明奥斯卡研发100奖、中国光电博览奖金奖、中国计量测试学会科学技术进步奖一等奖、中国产学研合作创新成果奖一等奖、瑞士日内瓦国际发明展特别金奖、苏州国家级特聘专家联合会“最佳科技创新人物奖”等奖。60余次担任国际/国内学术会议主席、委员、15本国际光学工程学会文集的主编、120篇论文、45项专利、担任《红外与激光工程》副主编、中国工程院院刊FITEE 编委、《中国光学）（原“中国光学与应用光学”）编委、 中国《应用光学》副主编、主持和参与国内国外重大科学仪器三十余项目、研发新产品三十余款。

摘要：超光滑平面的高精度加工与检测是近年来科研领域的研究热点之一。高精度光学平面的加工必须有更高精度的检测技术作为支撑，光学干涉测量方法是检验高精度光学平面的有效手段。在中小口径（150mm以下）平面干涉测量中，通常使用一个高精度平面( l/20PV)作为参考镜，来检验另一块精度较低的被检平面。而检验一块高精度接近于 l/20PV 或高于l/20PV的平面时，则需要更高精度的平面作为参考基准。因此，检验精度受参考平面精度的严重制约，这就提出了平面绝对检测要求。平面绝对检测是通过消除干涉仪器的系统误差和参考平面误差对测量结果的影响，从而得到被测平面面形绝对值的测量。对于大口径（300mm以上）平面干涉测量，更多的挑战问题将被面对。

本文将介绍高精度绝对检测方法，并运用商业干涉仪搭建了实验系统进行测量。实验结果验证了该方法的有效性，表明该方法可以消除干涉仪器的系统误差和参考平面误差对测量结果的影响，得到被测平面的绝对面形 l/100PV，并具有测量重复性l/1000RMS。

个人简介：马志超，吉林大学唐敖庆卓越教授，机械与航空航天工程学院副院长。从事材料微纳米力学测试技术与仪器研究。主持国家重点研发计划项目、国家自然科学基金重大研究计划重点项目，获基金委机械学科优秀结题项目。在Nat Commun等期刊上发表SCI论文117篇。制定行业标准2项，授权中、美发明专利52件。入选国家人才工程青年学者，获教育部、吉林省、机械工业技术发明一等奖、中国仪器仪表学会青年科技人才奖、吉林省青年科技奖。曾入选《麻省理工科技评论》中国“35岁以下科技创新35人”，获首届中国科技青年论坛一等奖。

摘要：材料的损伤失效常引发重大事故，其症结在于材料的微观力学行为、变形损伤机制和性能演化规律尚不清晰，缺失相关测试仪器，制约先进材料的性能提升。本报告将介绍材料微纳米压入测试技术与仪器的研究现状，对自主仪器研制、应用和评价进行说明，并探索仪器的标准化问题。在此基础上，将展示正在研制的原位测试仪器，突破传统试验仅能获取材料力学参数但无法监测结构演化规律的局限，用于揭示材料“结构-行为-性能”的相关性。

个人简介：刘红忠，教授，西安交通大学，精密微纳制造技术全国重点实验室副主任。长期从事微纳制造、智能感知基础理论和应用技术研究。相关研究成果实现了产业化应用，在航空、航天、半导体制造、高档数控机床、测量仪器等领域形成了国产化替代能力。

摘要：面向国产光刻机、工业母机等皮米级测量能力需求，针对超长封闭式精密光栅的空间光干涉调控原理和设计制造难题，突破传统光栅面内干涉测量技术，提出空间光干涉调控的新型光栅测量模式，实现空间光干涉成像和衍射效率主动调控。利用纳米压印制造技术，建立位/力协同的释放保型光栅压印工艺，减小光栅结构制造误差，实现光栅横-纵亚波长结构协同成型，完成皮米光栅读数测量能力。

个人简介：董国材，荷兰莱顿大学博士，正高级工程师，现任江南石墨烯研究院副院长、国成仪器（常州）有限公司创始人兼董事长，从事超高真空、表面科学、半导体等相关领域科学仪器的研究、石墨烯标准研究以及标准物质研究二十多年。组建团队成立江苏省石墨烯制备及应用研究工程实验室、江苏省先进碳材料检测技术重点实验室等，为石墨烯产品的制备、推广应用以及性能检测提供了重要平台。突破了技术瓶颈，自主研发的石墨烯宏量制备装备，实现单次工制备膜1.5m²，单台设备可年产70万平米石墨烯薄膜，2019年被认定为江苏省首台（套）关键装备。兼职担任全国钢标准化技术委员会炭素材料分技术委员会薄层石墨材料工作组组长、国家石墨烯标准化推进工作组通用基础专业组组长、江苏省石墨烯标准化技术委员会副主任委员兼秘书长等，主持制定石墨烯方面的国家标准3项，江苏省地方标准5项。其中国家标准《纳米技术 氧化石墨烯厚度测量原子力显微镜法》（GB/T 40066-2021）为我国石墨烯领域首批检测方法国家标准，为氧化石墨烯产品指标提供了检测依据，填补了国内外氧化石墨烯厚度测量检测标准方法方面的空白。董国材博士完成国家、省级科技项目10余项，在国际著名期刊Phys. Rev. Lett.等发表论文13篇，出版著作3部，申请国内外专利25项，其中发明专利12项。自主研发的扫描隧道显微镜、分子束外延以及化学气相沉积系统填补国内空白，已成功应用于中国科学院物理所、清华大学、北京大学等高校及国家实验室。董国材博士所创办的国成仪器（常州）有限公司，凭借其核心技术优势与市场表现，荣获江苏省专精特新小巨人企业、国家高新技术企业等重量级称号。董国材博士个人荣获中组部千人计划专家、省双创人才、中国计量科学研究院科学技术奖一等奖、江苏省标准创新贡献奖个人奖、全国石墨烯标准化杰出贡献奖、江苏留学回国先进个人、常州武进区劳动模范等荣誉，全面展现了其在科技创新与社会贡献方面的杰出成就。