Conference introduction

会议简介

111原子级制造是以能量作用于原子或原子级基元,从而制造出全新材料、器件与系统的先进制造技术,是人类认知和创造新物质的里程碑。原子级制造不仅是未来信息器件、集成电路等领域的核心技术,更是突破西方国家技术封锁、保障我国产业链安全的关键。当前半导体信息器件与集成电路器件/芯片制造已成为我国目前国际竞争的最大挑战。集成电路器件等已逐步进入原子级制造时代。


信息器件原子级制造实验装置(Atomic Fabrication facility for information device,A-FIND)通过构建信息材料与器件原子级操控新机理,打通原子极限制造中面临的原理性和系统性壁垒;按需设计并创制新物质,开创一条变革性信息材料与器件原子级加工制造路线;推动从原子层到功能薄膜及信息器件的自动化、自主化和智能化的研究,迈向原子制造的智能化与自动化的新阶段。信息器件原子级制造实验装置的建立将对原子级制造重大前沿领域形成有前瞻性的战略布局和系统突破能力的提升起到关键性作用。


虽然我国原子级制造研究与世界并跑,但仍局限于高等院校或研究机构的小型团队,难以体现原子级制造的核心优势。本次论坛将围绕当前原子级制造科学研究领域面临的以下2个重大关键问题进行研讨:

1.原子级器件精准加工:需要突破原子级极限精度的新工艺,解决原子结构偏差引起的器件性能变化。

2.原子级高时空分辨动态表征:需要开发跨尺度表征新方法,解析原子级单元到功能材料器件的制造过程。


上述科学挑战的实现需要超高真空(10-8Pa)环境作为保障。在超高真空下,原子/分子平均自由程是标准大气压下的十亿倍,表面覆盖满单原子层所需时间从10-9秒延长为10小时,从而使材料的本征理化性质得 以保持,使真空互联技术成为了原子级制造不可或缺的条件。1

conference organizers

会议组织

主办单位

    • 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

承办单位

    • 苏州纳米科技发展有限公司

main-topics

主要议题

2025 Agenda Overview

2025年议程总览

时间: 10月22日下午
地点: 苏州国际博览中心A馆206-207会议室
时间: 10月23日上午
地点: 苏州国际博览中心A馆206-207会议室
时间: 10月23日下午
地点: 苏州国际博览中心A馆206-207会议室

周鹏
复旦大学教授

邓惠雄
中国科学院半导体所研究员

王振兴
国家纳米科学中心研究员

王晓磊
中国科学院微电子研究所研究员

贺煜
深圳国际量子研究院研究员

胡伟达
中国科学院上海技术物理研究所研究员

梁世军
南京大学教授

彭波
电子科技大学教授

王琳
南京工业大学教授

黄鹏儒
新加坡国立大学高级研究员

宿非凡
中国科学技术大学副教授

陈岚
中科院物理所研究员

谢黎明
国家纳米科学中心研究员

林生晃
松山湖材料实验室研究员

霍永恒
中国科学技术大学教授

李文昊
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研究员

丁峰
苏州实验室研究员

宫勇吉
北京航天航空大学教授

张翼
南京大学教授

刘智崑
上海交通大学副教授

燕飞
北京量子信息科学研究院研究员

张海武
中国科学院上海硅酸盐研究所研究员

郝恺
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所项目研究员

胡海翔
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所副研究员

于亚运
中国人民解放军军事科学院助理研究员

胡泽华
南京大学助理教授

肖迪
华为技术有限公司

邹强
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所副研究员

包广宏
上海微芸半导体科技有限公司工艺整合总监

张洪国
江苏鹏举半导体设备技术有限公司CTO

王辉
苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司业务经理
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