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Conference introduction

会议简介

微米纳米技术创新与产业化国际论坛是微米纳米技术领域系列高层论坛。自2007年举办第一届ICMAN以来，已分别在苏州、西安、上海、深圳、北京、杭州、重庆、郑州、镇江、蚌埠等地连续举办十七届，取得和获得了巨大成功和反响。


第十八届微米纳米技术创新与产业化国际论坛(ICMAN2025)拟定于2025年10月22日-23日在江苏省苏州市举办，与中国国际纳米技术产业博览会（CHInano 2025）同期召开。旨在为来自海内外学术界和工业界的专家、学者、企业家及研究人员提供一个促进微米纳米技术创新与产业化的重要交流平台，拟邀请微纳领域国内外顶级专家作报告，并与业内人士互动交流。诚邀微纳领域的广大专家学者、研究人员、企业界人士、在校学生参加。


会议议程：


 10月21日 （周二） 现场注册、报道
10月22日 （周三）

上午：第十五届纳博会开幕式暨主报告 

下午：分场举办（学生大赛决赛+青年学者论坛） 

晚上：四届三次委员会
10月23日 （周四）

上午：致辞、大会主旨报告 

下午：大会邀请报告 

晚上：学生大赛颁奖


大会注册费用：


9月20日前注册缴费 9月20日后注册缴费
非学会会员2000元 非学会会员2200元
学会会员1800元 学会会员2000元
学生1000元

学生1200元 

（入围学生大赛的学生1000元）



汇款信息：
单位名称：中国仪器仪表学会
账号：0200004309014464348
开户行：工行北京北新桥支行
税号：51100000500002563H
备注/附言：ICMAN2025+参会者姓名
发票：会后统一开具电子普票或专票


报名联系人：

微纳器件与系统技术分会 干事处
联 系 人：姜老师

联系电话：（010）62785565
微信：ReginaJ_2020（请备注来意）

电子邮件：mnschr@tsinghua.edu.cn


Conference-organizers

会议组织

主办单位

    • 中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会
    • 清华大学

承办单位

    • 苏州大学机电工程学院
    • 苏州纳米科技发展有限公司
    • 苏州市机器人产业协会
    • 江苏省先进机器人技术重点实验室

Main topics

主要议题

2025 Agenda Overview

2025年议程总览

时间： 10月22日 下午
地点： 苏州国际博览中心A馆A110会议室
时间： 10月22日 下午
地点： 苏州国际博览中心A馆A102会议室
时间： 10月23日上午
地点： 苏州国际博览中心A馆A301-302会议室
时间： 10月23日下午
地点： 苏州国际博览中心A馆A301-302会议室
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
张甲
（ 哈尔滨工业大学教授）
演讲议题：当前柔性电子器件正朝着高性能、多模态、智能化等方向发展。本报告系统总结了上述发展中遇到的瓶颈，并给出了相应的解决方案。特别地，通过变刚度结构设计与复合材料的应用，同时实现柔性压力传感器的灵敏度、分辨率和量程的提升。通过检测原理复合、多信息敏感材料及结构分布式设计，结合人工智能算法，实现了多模态信息低耦合高精度的检测。最后介绍柔性电子在机器人、灵巧手、生命医疗等领域的一些典型应用。
演讲嘉宾简介：张甲，现为哈尔滨工业大学长聘教授，机器人技术与系统全国重点实验室学术骨干。长期从事功能器件微纳米制造技术研究，主要包括柔性电子设计、柔性传感器在智慧医疗微系统和机器人智能感知中应用、极端环境传感器技术研究。主持国家优青、国家重点研发计划项目、国家有关部委基金项目、探月专项等30余项；在《Nature Electronics》、《Nature Communications》等国际著名期刊上发表论文100余篇；授权发明专利30余项，出版专著4部/章；获省部级一等奖2项，二等奖1项。研究成果应用于探月工程等国家重大项目。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
杨睿
（ 上海交通大学教授）
演讲议题：物联网和人工智能等应用产生大量数据，需要低功耗传感、计算、数据存储和传输的纳米级智能系统。本报告对于纳机电系统的原理和应用做了全面的介绍，并进一步介绍了本课题组利用二维纳机电系统，特别是其品质因数调控进行低功耗传感和信息处理的研究成果。二维纳机电谐振器具备非常小的质量，使其维持强而稳定的谐振只需皮瓦级功耗。我们进行了多物理耦合的建模，加工制备了悬空的二维二硫化钼器件，并测量了其谐振特性，建立了线性动态范围调控的综合模型，实现了动态范围调控达32.8dB，质量分辨率达到26 yg，相当于一个氧原子的质量。进一步开发了大规模二维纳机电阵列的可靠制备方法，以及基于纳机电谐振器的新型存储和计算器件，其在高能效传感、信息处理、存储和计算等方面具有非常好的潜力。
演讲嘉宾简介：杨睿，上海交通大学浦江国际学院教授，长期从事二维纳机电器件与系统和低能耗存储计算器件的研究，作为第一或通讯作者发表论文60余篇，包括Nature Electronics, Nature Communications, IEDM, MEMS等期刊或国际会议论文。入选国家高层次青年人才计划，获得第十一届深圳国际石墨烯论坛“2DM Emerging Young Scientist Award”，第三届全国电子信息材料与器件大会“优秀青年科学家奖”，第二届智能材料与光电子器件研讨会“科学创新奖”，Microsystems & Nanoengineering Summit 2019（MINE2019）会议的青年科学家奖，“2019中国十大新锐科技人物”，福布斯中国30岁以下科技精英榜（30 Under 30），上海市“启明星”计划，以及上海市青年科技英才“扬帆计划”等荣誉。现任Microsystems & Nanoengineering, Nanotechnology, Chip, 中国科学：信息科学等期刊编委，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事和中国微米纳米技术学会微纳传感技术分会理事。主持国家基金委后摩尔重大研究计划培育项目、青年基金等项目。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
王任鑫
（ 中北大学教授）
演讲议题：电容式微机电系统换能器（CMUT）相较于传统的压电换能器，展现出诸多优势，包括与人体组织的良好阻抗匹配、高带宽、高灵敏度、优异的机电转换效率，以及大规模集成化潜力。本报告重点探讨了 CMUT 的设计、制备及其在多领域中的应用。首先，仿真分析深入剖析CMUT性能优化过程。其次，系统阐述了其制造工艺及表征方法，尤其是针对水下声学封装的关键技术。最后，结合实际应用，讨论了 CMUT 在酒精浓度测试、水下压力传感以及超声成像等方面的进展，展示了该技术在传感与成像领域中的广泛应用潜力。
演讲嘉宾简介：王任鑫，中北大学仪器与电子学院教授，博导，国家级青年人才，北京大学理学博士，伦敦大学学院访问学者，曾获北京大学优秀博士毕业生、山西省三晋英才青年拔尖人才荣誉称号，依托极限环境光电动态测试技术与仪器全国重点实验室，开展MEMS声学器件及系统研究。主持国家重点研发计划青年科学家项目、国家自然基金委青年基金（B类）/联合基金重点项目/面上/青年基金（C类）、军科委领域基金、国家自然基金委重大科研仪器课题、博士后特别资助等，在IEEE TIE、Microsystems & Nanoengineering等领域著名期刊发表论文30余篇，出版专著1部，授权国家发明专利20余项。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
郭振
（ 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所研究员）
TBD
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
姜波
（ 南京理工大学副教授）
演讲议题：MEMS陀螺具有体积小、功耗低的优势。经过多年的发展，零偏不稳定性已经下探到0.01°/h，有希望进入“导航级”惯性器件的范畴。本报告概述了国内外高精度单轴MEMS陀螺最新进展，分析其发展趋势，讨论其技术瓶颈和挑战。
演讲嘉宾简介：姜波，博士，南京理工大学机械工程学院副教授、博士生导师，仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事，《中国惯性技术学报》、《飞控与探测》期刊青年编委。从事MEMS技术、MEMS陀螺仪结构设计等工作，并取得了相关成果。主持国家自然科学基金面上项目、重大基础研究项目课题等省部级及以上项目7项，为主参与其他国家级科研任务多项，主要负责高精度MEMS陀螺仪新结构、新原理的研究。以第一作者或通讯作者在IEEE EDL、IEEE TIM、IEEE TED、APL、SENSOR ACTUAT A-PHYS等期刊上发表学术论文7篇，授权国家发明专利10余项。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
李东升
（ 苏州大学副教授）
演讲议题：在具身智能技术高速发展的当下，感知能力不足仍是制约机器人性能提升的关键瓶颈，这一问题在手术机器人与人形机器人两类代表性应用中表现尤为突出。针对具身智能机器人的感知痛点，本报告介绍了开展的初步微纳传感技术研究工作，具体包括：适用于机器人触觉感知的MEMS三维力传感器、全范围接近-接触传感器、以及面向机器人灵巧手的交互反馈系统，为解决具身智能机器人感知不足问题提供技术参考。
演讲嘉宾简介：李东升，苏州大学副教授，入选江苏省双创博士、苏州大学优秀青年学者。主要从事机器人微纳传感与交互技术、微机电系统与微纳制造方向研究。主持国自然青年基金、省自然青年基金、全国重点实验室开放课题等多项项目，在Advanced Materials、Advanced Functional Materials、Advanced Science等期刊上发表SCI论文20余篇，获得IEEE MEMS 与IEEE Transducers会议最佳论文提名奖等奖项。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
臧法珩
（ 上海交通大学副教授）
TBD
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
李恒禹
（ 中国科学院北京纳米能源与系统研究所副研究员）
演讲议题：报告人长期聚焦微流控装备难以兼备微型化、集成化、便携化、精密化、智能化的行业共性难题，首先提出共振与非共振双模式压电微泵融合设计方法，解决压电微泵大流量、高压力及高精度不能兼备的难题。其次，基于摩擦电的固-液起电机理，建立压电驱动信号与输出流量以及摩擦电感知信号之间的数学映射模型，阐明压电-摩擦电综合调控的微流控驱动-感知机理，提出基于摩擦电感知的压电微流控精密流量自感知监测方法。最后，开发出一种基于单电极模式摩擦电自感知单元和芯片相结合的液滴微流控监测装置，提出一种新型非浸入式微流控液滴检测方法，实现其在药物递送过程中试剂用量和分散度的精确控制。
演讲嘉宾简介：李恒禹，中国科学院北京纳米能源与系统研究所副研究员，博士生导师。入选第十三届上银优博、国资计划B、北京市青年托举、哈工大优博、哈工大十佳英才、中国科学院优秀博士后等。主要研究方向为基于摩擦电的压电微流体操控与感知技术、微纳能源俘获与自驱动传感技术。先后主持国家自然科学基金、国家资助博士后研究人员计划B、北京市自然科学基金等课题8项。以一作/通讯在Joule、Device、Energy & Environ. Sci.、Adv. Mater.、Mater. Today、Adv. Funct. Mater.、Nano Energy、Small、Nano Research、IEEE Trans. Ind. Electron.、Mech. Syst. Signal Proc.等期刊上发表SCI论文50余篇，封面论文4篇，ESI高被引论文6篇，被引4000余次。授权国家发明专利20余件，登记软件著作权2件。获吉林省技术发明二等奖、第13届上银优秀机械博士论文奖、宝钢教育优秀奖、博士国家奖学金、春晖创新成果奖等10余项。担任机械工程领域高质量科技期刊分级目录评审专家及Progress in Natural Science: Materials International、Research等多个期刊的青年编委。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
侯诚
（ 昆明理工大学副教授）
演讲议题：机器人辅助手术（RAS）虽已广泛应用，但其力觉与滑觉感知的缺失，是限制手术安全性与精准度的关键瓶颈。针对此挑战，提出了一套完整的智能感知解决方案。研究设计了一种基于MEMS的微型三维力传感模组，其刚柔耦合结构实现了灵敏度与量程的按需调节。为确保感知精度，提出基于优化深度学习的高精度解耦算法，有效消除了信号的维间耦合。此外，将时间卷积网络（TCN）引入滑移感知任务，实现了对组织滑移方向与距离的精确预测。该系统已集成于手术机器人原型，并通过离体及活体动物实验验证了其可靠性与有效性。本研究为提升微创手术安全性、发展新一代智能手术器械提供了关键技术支撑。
演讲嘉宾简介：侯诚，博士，2024年毕业于苏州大学机器人与微系统研究中心，获智能机器人技术专业博士学位。其博士期间，师从机器人与MEMS领域的知名专家孙立宁教授和刘会聪教授，系统地研究了面向微创手术机器人的先进MEMS感知器件与方法。现就职于昆明理工大学复杂机电系统与控制研究所，其研究方向继续聚焦于手术机器人末端执行器的微型化力感知与反馈关键技术。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
陈冠羽
（ 苏州大学副教授）
演讲议题：MEMS/NEMS中驱动力矩不足、精度受限及传感的可靠性、精度低等瓶颈，源于传统材料的本征属性受限。报告将从材料角度分析问题，阐述低维纳米材料凭借其超高的比表面积、固有强度、优异导电性及热稳定性，为解决这些挑战提供了全新方向，为下一代高性能MEMS/NEMS器件的开发奠定核心材料基础。
演讲嘉宾简介：陈冠羽，博士毕业于中国科学院上海硅酸盐研究所。目前主要研究窄带隙体系材料中电子极化诱导机电耦合特性，微纳驱动/微纳力学传感及光电、气敏传感。主持国家自然科学青年基金，作为骨干参与了多项国家/省部级纵向科研项目，包括国家重点研发计划和国家重点研发计划青年科学家项目2项。基于以上项目的支持，也取得了较为丰硕的研究成果，主要包括：以第一/通讯作者发表高水平SCI论文10余篇，其中包括：Adv. Mater. (1篇，封面), Adv. Funct. Mater. (1篇), Adv. Sci. (1篇), ACS Mater. Lett. (1篇), Nano Energy (4篇)；已授权中国发明专利4件；国际会议邀请报告3次。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
陈梓煊
（ 明察智新（深圳）科技有限公司产品主管）
演讲议题：传统方案中，白光干涉仪、激光共聚焦显微镜等3D轮廓测量设备普遍采用“点/线+垂直扫描”模式，该模式单件测量耗时通常在数十秒甚至分钟级别，导致在实际产线中只能进行抽样检测，难以满足全线全检的节拍要求。 而激光干涉3D成像测量仪以“非扫描成像”技术颠覆传统，无需任何扫描过程，即可在秒级时间内完成待测样品的三维数据采集，效率提升最高达6倍。真正使“每片必检”从难以企及的成本负担转变为高效可行的工艺标配，首次实现了质量数据与产线节奏的实时同步。
演讲嘉宾简介：陈梓煊，现任明察智新产品主管，全面主导激光干涉3D成像测量仪等产品的研发及产业化落地，深耕微纳米级精密测量领域多年，曾为半导体、精密光学及3C电子行业众多头部客户提供核心解决方案，长期致力于推动高精密检测技术的创新与产业应用。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
王威、王文波
（ 指导教师：李铁，中国科学院上海微系统与信息技术研究所）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
程斌、丁泽、徐向阳
（ 指导教师：王凤霞、孙立宁，苏州大学）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
刘帆、洪烨韬、郑舜程、黄宇锴
（ 指导教师：姜波，南京理工大学）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
孙浩展、林赛宇、刘北芳、郭志鹏
（ 指导教师：明安杰，北方工业大学、明安涛，温州医科大学）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
宁宏阳、王海涛、高翔、王紫阳、刘宏宇
（ 指导教师：张忠强，江苏大学）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
姚飞翔、张键豪、赵超山、刘钱、郭威
（ 指导教师：李顺波，重庆大学）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
高驰远
（ 指导教师：陈健，中国科学院空天信息创新研究院）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
陈学艺、谢金辉、钱达
（ 指导教师：王春举，苏州大学）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
刘庭昊、王璐明、巫佳琦、吕辰飞、秦嘉泽
（ 指导教师：王曾晖、朱健凯，电子科技大学）
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
孙立宁
（ 苏州大学教授）
演讲议题：围绕微纳感知赋能具身智能机器人创新发展为主题，介绍机器人具身智能为微纳传感技术的发展带来新的机遇和市场蓝海。具身智能通过机器人等物理实体与环境交互，能进行环境感知、信息认知、自主决策和采取行动，并能够从经验反馈中实现智能增长和行动自适应。微纳传感技术结合AI大模型，将实现AI多传感融合，并产生智能识别、智能规划、智能抓取、智能交互等新功能，促进机器人具身智能的创新演化和发展应用。
演讲嘉宾简介：孙立宁，苏州大学机电工程学院院长、机器人技术与系统国家重点实验室副主任。国家杰青，长江学者特聘教授，何梁何利奖获、全国创新争先奖获得者。中国微米纳米学会会士、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会主任委员、中国微纳米技术学会微纳机器人分会理事长、全国微机电技术标准化技术委员会主任委员等。孙立宁教授长期从事先进机器人技术和微纳米技术研究，开创了机器人技术与微纳米生命领域交叉前沿方向，促进了机器人技术与医学结合并成功实现手术机器人临床应用和产业化，推动了工业机器人的智能化与产业应用，获国家技术发明/科技进步二等奖2项（均排名第一）、省部级奖励8 项，发表SCI 论文300余篇，授权发明专利180余项，出版专著5 部。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
欧阳劲松
（ 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所所长）
演讲议题：介绍传感器及仪器仪表的作用和战略意义，分析当前领域国内外形势和创新发展现状，研判技术和产业的未来发展趋势，探讨我国传感器及仪器仪表高质量发展面临的机遇挑战和应对措施的相关思考。
演讲嘉宾简介：欧阳劲松，机械工业仪器仪表综合技术经济研究所所长，享受政府特殊津贴的教授级高工，被授予IEC 1906大奖。国家中长期科技发展规划先进制造等专题专家组成员，科技部十二五、十三五、十四五规划先进制造领域专家组成员，国家“重大科学仪器设备开发”专项总体组副组长、国家重点研发计划“智能传感器”等专项指南编写组副组长，国家智能制造专家委员会副主任，国家智能制造标准化总体组、工业互联网标准化总体组、人工智能标准化总体组副组长等。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
黄庆安
（ 东南大学教授）
演讲议题：MEMS已经改变了人类感知与控制外部世界的方式。往前看，一方面需要持续研究开发MEMS材料、设计、制造、封装等问题，进一步提高性能，降低成本，扩展应用领域；另一方面，需要探索新原理，以期提高性能或者实现以前不可能的器件。宇称-时间（Parity-Time）对称性1998年起源于量子力学，是指系统经过空间反射和时间反演作用后保持不变。由于量子力学的波动方程与经典波动方程在数学上的相似性，PT对称系统的特征首先于2008年在光学系统观测到，进而在光学、电学、声学等领域发现了大量奇特效应和潜在应用。报告介绍本课题组在MEMS中实现PT对称系统的探索研究，以及在高灵敏传感和非互易传输方面的初步应用。
演讲嘉宾简介：黄庆安，东南大学教授。国家杰出青年科学基金获得者（2003）、“长江学者”（2004）、IEEE Fellow（2016）。曾任国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项指南编制专家（2016-2020）、 “十二五”国家863计划微纳制造技术主题专家组召集人、“十五”国家863计划MEMS重大专项总体专家组成员。现任中国微米纳米技术学会副理事长，《传感技术学报》主编，JMM、Sensors & Actuators A等编委。以第一获奖人获国家科技进步二等奖1项，教育部自然科学一等奖2项、技术发明一等奖1项，江苏省科学技术一等奖1项；以第一或通讯作者发表主要论文130余篇，论文被科技发达国家的30位院士引用或评价；出版中文著作2本、主编英文丛书1本；授权发明专利130余件（美国专利4件），参编国家标准1部，20余项专利转让或实施，经济社会效益显著。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
刘新宇
（ 大连理工大学教授）
演讲议题：Understanding biological systems and mimicking their functions require electronic tools that can interact with biological tissues with matched softness. These tools involve biointerfacing materials that should concurrently match the softness of biological tissue and exhibit suitable electrical conductivities for recording and reading bioelectronic signals. However, existing intrinsically soft and stretchable materials usually contain solvents that limit stability for long-term use or possess low electronic conductivity. To date, developing an ultrasoft (i.e., Young's modulus <30 kPa), conductive, and solvent-free elastomer still remains challenging. Additionally, integrating such ultrasoft and conductive materials into electronic devices is poorly explored. This talk reports a new series of solvent-free, ultrasoft and conductive bottlebrush elastomers (BBEs) and their micro-patterning techniques for ultrasoft electronics. The conductive BBEs reveal ultralow and tunable Young's moduli (0.5-11 kPa) and satisfactory electrical and/or ionic conductivities (>10 S/m) as well as strong surface adhesion property. Furthermore, we fabricate ultrasoft electronics through several micro-patterning methods (e.g., laser cutting, 3D printing, and photolithography) and demonstrate their uses in wearable sensing, soft robotics, and bioelectronic recording.
演讲嘉宾简介：刘新宇，大连理工大学机器人与智能系统研究院教授，美国和加拿大机械工程学会会士，加拿大工程研究院会士。主要研究方向是微纳机器人、软体机器人、微纳器件等。在机器人和生医结合领域的国际期刊和国际会议上获得10项最佳论文奖。现任IEEE机器人与自动化学会微纳机器人专委会主席， IEEE T-ASE、IEEE RA-L、Research、Microsystems & Nanoengineering等12个国际期刊编委。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
李昕欣
（ 中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员）
演讲议题：介绍当今国际MEMS巨头企业博世和意法半导体的单片单面MEMS工艺技术APSM和VENSENS，进而讲述我们自主发明的单片单面MEMS制造技术-“微创手术”MIS工艺方法，并通过直接对比来显示MIS工艺的技术优势。通过多种先进传感器的实例来说明MIS工艺的通用覆盖加工能力。
演讲嘉宾简介：李昕欣于清华大学和复旦大学获学士和博士学位。长期从事MEMS传感器研究。曾先后在香港科技大学、新加坡南洋理工大学、日本东北大学工作。2001年入选中国科学院“百人计划”回国任中科院上海微系统所研究员。曾连续两届担任传感技术国家重点实验室主任。发表论文中SCI期刊约300篇，发明专利约200项。2007年入选杰青。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
朱荣
（ 清华大学教授）
演讲议题：机器人在复杂场景中的多模态感知与智能控制面临巨大挑战。人类具有多感官、超强思维能力和强大执行能力，人类皮肤感受器会对压力、温度、接触物体等各种刺激做出反应，多模态触觉丰富了人类与环境互动的体验。为此，我们提出并建立了一种类皮肤热感受器原理，研制出多模态柔性传感器和电子皮肤，能够感知多维力/力矩、接触物质、温度、流体、滑动和纹理等丰富信息，具有集成度高、结构简单、传感性能优、调控性好等特点。我们将柔性传感器和电子皮肤应用于智能机器人，多模态触觉传感器用于灵巧手操作，多模态电子皮肤用于人机交互，将触觉感知与机器视觉/听觉和智能控制相结合，融合人工智能技术，构建具身智能系统架构，实现机器人灵巧操作和智能家政服务等智能应用。
演讲嘉宾简介：朱荣，清华大学长聘教授，博士生导师。兼任中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务副主任委员。主要研究方向：微/纳机电器件及智能测控系统。近年主要研究：柔性传感器与多功能电子皮肤、多感知触觉传感器、智能机器人与健康监测应用等。朱荣教授已在Science Robotics、Science Advances、Nature Communications、Advanced Materials等期刊和国际会议发表学术论文200余篇，获授权国内外发明专利30余项。科研成果曾获国家技术发明二等奖、教育部技术发明/自然科学一等奖和二等奖、北京市科学技术一等奖、国际发明展览会金奖、中国发明协会发明创业奖一等奖、国际Transducers优秀论文奖、世界人工智能大会优秀论文奖、首都前沿学术成果等。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
吴志刚
（ 华中科技大学教授）
演讲议题：在微纳制造与人工智能深度融合的推动下，多模态柔性智能传感系统正成为连接物理世界与数字智能的核心接口，在机器人感知与智慧农业等前沿领域展现出巨大潜力。本报告聚焦AI驱动的多模态柔性智能感知这一共性技术方向，融合两类创新系统的设计理念与应用实践：一方面，在机器人感知领域，为突破传统多传感器系统在信号耦合与信息异构等方面的瓶颈，我们开发了一种集视觉、接近与触觉感知于一体的多功能传感器（VPTS），仅通过单目相机与可调焦光学系统，结合荧光结构弹性膜，即可实现多模态感知的动态切换与深度信息融合，配合深度学习框架，显著提升了机器人对连续交互任务的感知-决策-执行能力，领域内首次实现连续28次机器人感知交互任务；另一方面，针对农业生产中植物胁迫早期诊断难、监测不连续的瓶颈，我们构建了机器学习赋能的谱学主导型柔性可穿戴系统（MapS-Wear），通过在植物叶片原位集成温湿度与透射光谱传感模块，结合轻量化无线数据传输与双通道机器学习诊断模型，实现了对营养缺乏、螨害等多种胁迫的长期、无损、高精度预警，诊断时效较传统视觉方法提前10天以上，首次实现了基于原位透射光谱的植物多维度生理信息连续监测与机器学习驱动的跨胁迫类型精准分类。两类系统均依托传感器功能化设计、多源异构信号的协同融合，以及机器学习对数据的高效解耦与智能判识。本报告将系统阐述这两类多模态传感系统在材料、结构、算法与应用层面的共性关键技术，展示其在智能制造与智慧农业中的跨域应用前景，为下一代智能感知系统提供融合创新的技术范式。
演讲嘉宾简介：吴志刚（Zhigang Wu，Professor），长期从事柔性电子、可穿戴设备、具身智能软体机器人、数字（AI）驱动的智能软体设计与制造相关研究承担了多项国家基金重点、面上项目、重大研发课题等科研项目，取得了多项创新成果。相关学术成果荣获2022年华中科技大学“重大科学进展”，入选2022年度全球顶尖10万名科学家，获Leaderobot2023年度“机器人科学引领奖”。在Sci. Robot.、Nat. Commun.、Adv. Mater.、Nat. Sci.等国际权威期刊发表论文100余篇，总引用超15000次，目前h指数37，多篇论文入选封面或热点文章，其中包括我国首篇机器人制造类Science Robotics，并获国际顶会ICRA 2024最佳机构学与设计论文奖。担任多本国际期刊编委，申报境外专利6项，已授权4项，申报中国发明专利60余项，已授权36项。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
赵玉龙
（ 西安交通大学教授）
演讲议题：本报告介绍了MEMS执行器及相关技术在新一代微火工品与微引信当中的应用。基于电热驱动原理，设计并制造出一种具有达输出位移的四隔板MEMS安保装置。微执行器的结构原理、制造工艺、集成封装及应用技术将会详细阐述。通过微冲击片起爆试验验证了微执行器的可靠性与安全性，该微执行器实现了良好的安全与解保特性。基于上述研究成果，研发了集成有MEMS换能元、MEMS安保装置、微毁伤单元的MEMS智能弹药，实现了与微无人平台的搭载并形成系列微装备。
演讲嘉宾简介：赵玉龙，教授/博导，长江、杰青、中青年科技创新领军人才、百千万人才及国家中青年突贡专家获得者。专注于MEMS技术、传感器技术、微纳执行器及微纳制造领域基础理论和工程应用方面的研究，并取得了显著的成绩。科研工作中，主持项目包括国家863计划重点课题、国家自然基金以及国防科工委国防基础研究的相关研究项目30项。研究成果获国家技术发明二等奖2项、省部级科技奖7项（其中，一等奖6项）。获得国家授权发明专利100余项。发表论文150余篇，其中SCI论文100余篇，EI收录70余篇。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
刘景全
（ 上海交通大学教授）
演讲议题：脑机接口（BCI）是在大脑与外部设备之间建立直接交互的技术，大脑通过生物电信号直接控制外部设备（脑控），或通过外部刺激调控大脑活动（控脑），从而增强、改善和扩展大脑功能。脑机接口器件的研究对于神经科学、生物信息学、人机交互等具有非常重要的意义。本报告主要从脑机接口器件与系统在大脑的不同空间位置从多维度的角度介绍本课题组脑机接口器件与系统的研究进展，主要介绍基于干电极的可穿戴脑机接口器件、植入式ECoG脑机接口器件、 植入式硅基MEMS脑机接口器件与系统、植入式柔性脑机接口器件与系统等，从多维度分析脑机接口器件的交互特性。开展了脑机接口器件的表面改性和相关的动物实验研究。并对脑机接口的发展提出一些个人建议。
演讲嘉宾个人简介：刘景全，上海交通大学特聘教授。“微米纳米加工技术”全国重点实验室主任（上海交大）。科技部重大项目首席、国家重点研发项目首席、上海市领军人才、上海市优秀学术带头人等。获教育部自然科学一等奖1项、上海市发明一等奖1项。Nano-Micro Letters 期刊（IF：36.3）编委。主要研究兴趣包括：MEMS脑机接口器件与微系统、极端环境MEMS智能传感器、微纳加工与集成。近5年在Nature Communications、Science Advances、Advanced Materials等国际著名刊物上发表论文近60篇。主持项目包括：国家自然科学基金重点项目、国家重大专项项目、科技部2030重大项目、国家重点研发项目和上海市市级重大专项等。
2025微米纳米技术创新与产业化国际论坛
陈立国
（ 苏州大学教授）
演讲议题：离心微流控芯片是微流控技术的一个重要分支，在医学诊断等领域具有广阔应用前景。本报告首先总结离心微流控技术的原理、关键技术、发展历史，然后介绍离心微流控中液体控制及检测技术集成等关键技术，最后给出针对过敏原筛查、支原体快速诊断开发的离心微流控芯片及系统。
演讲嘉宾简介：陈立国，苏州大学教授，博士生导师。教育部新世纪优秀人才，国家重点研发计划项目首席科学家。博士毕业于哈尔滨工业大学机器人研究所。主要从事纳米级微驱动及微纳操作机器人、智能感知与微纳制造技术的研究。几年来，作为负责人承担多项国家863计划项目、国家重点研发计划项目、国家自然科学基金项目等，发表学术论文100余篇，授权发明专利40余项，获得国家技术发明二等奖1项，省部级一等奖2项。
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蒋永刚
（ 北京航空航天大学教授）
演讲议题：高性能流场感知是航空航海装备智能化的必然需求，向昆虫、鱼类等的流场感知器官学习是器件和系统设计的重要途径。本报告主要讲述仿生流场感知中的流动局域化效应及其带来的增敏降噪智能原理，和器件系统方面的进展。
演讲嘉宾简介：蒋永刚，北京航空航天大学机械工程及自动化学院教授，仿生与微纳系统研究所所长，主要从事仿生感知和微机电系统技术研究。近年来主持了国家重点研发计划、国家自然科学基金联合基金重点、优秀青年科学基金等国家科研任务10余项，获省部级/学会二等奖3项。
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冷晓琨
（ 乐聚智能（深圳）股份有限公司研究员/董事长）
演讲议题：本报告立足人形机器人技术前沿与产业变革趋势，解析人形机器人产业现状与技术发展路径，探讨人形机器人核心技术架构及创新突破方向，并分享乐聚在人形机器人领域的研发成果、产业应用实践及商业化布局策略。
演讲嘉宾简介：冷晓琨，哈尔滨工业大学博士，乐聚机器人创始人、董事长，广东省科学技术协会第十届委员会常委，国家科技专家库专家，中国电子学会机器人分会副主任。主要聚焦双足人形机器人及人工智能领域进行关键技术研究与产品研发制造。曾获中国青年五四奖章、中国青年创业奖、中国青少年科技创新奖、工信部创新创业特等奖、吴文俊人工智能科学技术奖“科技进步奖”等荣誉，并两次入选福布斯“30位30岁以下精英”榜。
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刘宇飞
（ 人形机器人（上海）有限公司副总经理）
演讲议题：随着2025具身智能行业的爆发，人形机器人领域迎来新的市场机遇和垂类场景落地。Tesla和Google RTX面向具身智能大模型完成了训练中心的布局，国地人形创新中心于2025年1月建设国内最大异构“麒麟人形机器人训练场”旨在实现异构数据归集及模型训练全链路工作，目前已经采集了超过3万小时“白虎异构真机通用数据集”，并在垂类场景采集专用数据集，目标正在开展在机器人垂类场景的先行先试。国地中心形成了“格物-致知具身智能开发平台”、生成式动作7B大模型等的训练，在仿真和硬件底层开发方面完成了多芯片、多驱动、多本体的快速向导式部署，国地中心形成了“训练场-异构数据-具身智能开发平台-模型”的颠覆性成果，下一步重点依托数据和模型训练在垂类场景领域赋能人形机器人产业。
演讲嘉宾简介：刘宇飞，国家地方共建人形机器人创新中心副总经理。获评“2024年度科技人物”科技新锐荣誉、“2024年度北京丰台区青年榜样”称号，“中国人形机器人检测认证技术工作专家组”副组长，“国际标准化创新团队(人形机器人)负责人。主持开展了国家自然基金委等国家省部级15项重大专项累计科研经费超3亿元，发表论文44篇（TOP四篇（JFR、TII、AIR、TMECH）），其中SCI/EI检索24篇；已授权发明专利51项。提出了全国第一个【虚实结合-异构训推】的人形机器人训练场技术架构，牵头建设了国内第一个通用人形机器人训练场，解决了【协作臂-异构人形双臂】的虚实迁移难题，为人形机器人数据规模化应用提供了行业解决方案。
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张胜兵
（ 安徽华鑫微纳集成电路有限公司副总经理）
TBD
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罗彪
（ 美的中央研究院资深工程师）
演讲议题：为进一步提高散斑双目视觉的匹配效率和测量精度，本文提出散斑空间动态复用小型双目测量系统。系统设计单轴微镜到散斑发生光路中，通过控制单个柔性扫描器产生具有空间扫描动态散斑的投射图案，实现不增加外形体积情况下的微型动态散斑双目系统。基于这种散斑投射的双目相机试验系统，采用激光同步触发及低频驱动的方法，验证了基于柔性扫描器实现动态散斑投射的可行性，输出的点云点数提升5倍以上，可有效增加点云点数量，对比静态散斑输出证实了该方案输出深度图的明显优势，是一种满足民用机器人领域检测需求的优选方案，可实现极低成本的高精测量系统。
演讲嘉宾简介：罗彪，博士，主要研究开发领域为光学系统设计开发及MOEMS器件设计开发。曾在日本东北大学工学部江刺研究室从事惯性器件及MOEMS车载激光雷达的研发。目前在美的中央研究院负责智能传感器系统开发，包括传感器器件设计开发及封装。
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